Glacann rialtóir cumhachta sraith TPM5 an smaoineamh dearadh modúl agus comhtháthaíonn sé suas le 6 chiorcad taobh istigh.Úsáidtear táirgí go príomha i bhfoirnéisí idirleata, PECVD, foirnéisí epitaxy, etc.