Rialaitheoir cumhachta sraith TPM5
-
Rialaitheoir cumhachta sraith TPM5
Glacann rialtóir cumhachta sraith TPM5 an smaoineamh dearadh modúl agus comhtháthaíonn sé suas le 6 chiorcad taobh istigh. Úsáidtear táirgí go príomha i bhfoirnéisí idirleata, PECVD, foirnéisí epitaxy, etc.